甄长红 版权所有
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杂质名称 |
暂行标准(质量比) |
空气(氧、氮) |
≤0.05% |
CF4 |
≤0.05% |
水 |
≤8ppm |
游离酸(用HF表示) |
≤0.3ppm |
可水解氟化物(用HF表示) |
≤1.0ppm |
矿物油 |
≤10ppm |
SF6纯度 |
》99.8% |
生物毒性试验 |
无毒 |
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