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阀门制造工程概要
采用1,1,1-三氯乙烷进行2次除油清洗后,再用超纯水进行最后清洗。超纯水传送式自动超声波清洗装置,就设置在清洁间内。不锈钢阀门属于半导体生产工程专用制品,要求它具有很高的清洁度,所以,要在10级清洁室内进行生产加工(相片5.2)。
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