3.1　SQ-型水精处理装置

　　(1)组成、用途：本装置系以电阻率为5～10兆欧姆·厘米的一级混床的初纯水为原水,经紫外线杀菌、活性炭过滤吸附、精过滤、终端混床离子交换及微孔膜过滤器过滤等净化工序,进一步提高纯水水质，使出水的导电率达≥15兆欧姆·厘米。装置的工艺组成见图96。本装置的特点在于终端混床为可再生式,并配有专用ZSZ-20型再生设备,装置的主要净水设备可安装于生产线“洁净区”的范围以外,仅有送、回水管穿入“洁净区”,以 减少对“洁净区”震动、尘埃等方面的干扰。SQf1型纯水精处理装置可用于3～5个清洗点的集成电路生产线清洗间供应高纯水,也可作为化工、制药、实验室等制备高纯水的终端处理装置。

　　（3）规格及性能见表102。

　　　　　　　　　　　　　　SQ-型水精处理装置规格及性能　　　　　　　　　　表102

注：1.随机配套聚氯醚制作的水泵4OFS-26型,电动机功率2.2干瓦。

　　2.处理装置材质:主要为硬聚氯乙烯。

　　3.出水端与循环水箱固水端的最大距离30米。

　　(3)外形及安装见图97。

　　(4)注意事项：

　　1）如初级纯水有机物含量<1毫克/升时,则活性炭柱内可不装活性炭。装填活性炭的装置,当检测出其出水水质有机物含量超过1毫克/升时,则应更换活性炭。活性炭牌号为C11。

　　2）精过滤器之蜂房滤芯为精度1μ的聚丙烯线蜂房式绕线滤芯,由电子工业部第十设计研究院实验工厂生产,运行中一般每隔半年左右须更换一次。

　　3）膜过滤器为过滤精度0.45微米的混合滤膜,运行中当膜前压力达1.3～1.5公斤/厘米2时,则应更换新膜。

　　4）离子交换树脂，每个φ160毫米终端混床装732#阳树脂7升，717#阴树脂14升，混合后树脂约20升左右。树脂在正式使用前应进行预处理,再生应采用化学纯的盐酸和固体氢氧化钠，用高纯水分别配制成7%的再生溶液。为减少污染可能,最好采用ZSZ-20型专用再生装置进行再生。

3.2　SC-Z0.5型高纯水终端处理装置

　　(1)组成、用途：本装置为解决高纯水经长时间贮存及输送过程中可能受到的再次污染和进一步提高纯水水质、可直接安置在用水点附近的终端处理装置,随机配备有水质电阻指示仪,直接检测出水之电阻率。适宜于电子、制药、化工等部门采用。处理装工艺组 成见图98。

　　（2）规格及性能见表103。

　　　　　　　　　　　　CS-Z0.5型高纯水终端处理装置规格及性能　　　　　　　　　表103

　　（3）外形及安装见图99～1000。

　　(4)注意事项：

　　1）本装置的固定板之两上角带有悬挂钉孔,一般为挂墙安装,亦可安设于一小车上,生产厂可配套供应小车。

　　2）根据使用要求,更换不同长度的组装拉杆,即可组成不同流程的处理装置。如：

　　初纯水—→粗过滤—→混床—→混床一步精过滤—→高纯水；

　　初纯水—→粗过滤—→混床—→精过滤—→高纯水；

　　初纯水—→粗过滤—→精过滤—→出水。

　　3）循环水管的作用为当用水量变化时,使处理装置内仍保持一定流速,以能保证出水水质稳定,并可根据使用情况不同,或接入原水管、或者接入循环水进口。

　　4）当原水进水压力不足1.5～2.6公斤/厘米2时,原水应设水泵加压。

　　5〉电阻仪中已采取温度补偿措施,仪表所指示的电阻率即为25℃时的电阻率。